Einkapselungsverfahren eines Mikroelektronischen Bauteils
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3159302
- Aktenzeichen
- EP16194901
- Anmeldetag
- 20. Oktober 2016
- Veröffentlichung
- 8. Januar 2020
- Erteilung
- 8. Januar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Procédé d'encapsulation d'un composant microélectronique (100) comportant la mise en oeuvre des étapes suivantes : - réalisation d'une portion de matériau sacrificiel sur une face avant d'un premier substrat dans lequel le composant est apte à être réalisé, puis - réalisation d'un capot (116) encapsulant la portion de matériau sacrificiel, puis - réalisation du composant par gravure du premier substrat depuis sa face arrière telle qu'une partie du composant soit disposée face à la portion de matériau sacrificiel et que la portion de matériau sacrificiel soit accessible depuis une face arrière (127) du composant, puis - élimination de la portion de matériau sacrificiel par gravure depuis la face arrière du composant, puis - solidarisation de la face arrière du composant avec un deuxième substrat (128).
Anmelder
- Firma
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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