Mehrschichtige Folie und Verfahren zur Herstellung davon

EP3159428 Art A1 26. April 2017

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3159428
Aktenzeichen
EP15809725
Anmeldetag
11. Juni 2015
Veröffentlichung
26. April 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/06C01G25/00C01G55/00C23C14/34H01L41/316H01L41/319C23C28/00C23C14/08C23C14/16C23C14/35C23C14/56H01L41/187
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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