Verfahren zur Verzerrungsbestimmung eines Optischen Projektionssystems

EP3159738 Art B1 12. Dezember 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3159738
Aktenzeichen: EP16183209
Anmeldetag: 23. März 2006
Veröffentlichung: 12. Dezember 2018
Erteilung: 12. Dezember 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F1/38G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von