Optisches Element, Belichtungsvorrichtung mit Verwendung davon und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP3159912 Art A1 26. April 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3159912
Aktenzeichen: EP16202165
Anmeldetag: 25. Januar 2008
Veröffentlichung: 26. April 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G02B5/08G02B5/26G03F7/20G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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