Verfahren zur Verdünnung von Proben

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3159916

Aktenzeichen

EP16195113

Anmeldetag

21. Oktober 2016

Veröffentlichung

26. August 2020

Erteilung

26. August 2020

Rechtsraum

EP

IPC

H01L21/304H01L21/683

Abstract

Il comprend les étapes de : a) Fournir au moins un échantillon présentant une face avant (3) et une face arrière (9) opposée à la face avant (3), b) Fournir un substrat d'encadrement (100) présentant une première face (5) et une seconde face (6) opposée à la première face (5), le substrat d'encadrement (100) comprenant une ouverture traversante (7) débouchant dans la première face (5) et dans la seconde face (6), l'ouverture traversante (7) étant configurée pour recevoir l'au moins un échantillon, c) Positionner l'au moins un échantillon (1) par rapport au substrat d'encadrement (100) de sorte que l'au moins un échantillon (1) est disposé dans l'ouverture traversante (7), la face avant (3) étant orientée du même coté que la première face (5), et d) Amincir simultanément le substrat d'encadrement (100) et l'au moins un échantillon (1) à partir respectivement de la première face (5) et de la face avant (3), de sorte qu'à la fin de l'amincissement, la première face (5) du substrat d'encadrement (100) et la face avant (3) de l'au moins un échantillon (1) s'étendent sensiblement dans le même plan, l'amincissement étant réalisé par rectification à l'aide d'une meule, le substrat d'encadrement (100) et l'au moins un échantillon (1) étant disposés sur un plateau rotatif et maintenus en place par aspiration, les flancs de l'au moins un échantillon restant libre pendant l'amincissement.

Anmelder

Firma

COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete