Mehrlagiger Schutzfilm und Verfahren zur Herstellung davon

EP3159949 Art A1 26. April 2017

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3159949
Aktenzeichen
EP15810178
Anmeldetag
11. Juni 2015
Veröffentlichung
26. April 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L41/319C23C14/08H01L41/316C23C14/02C23C14/34B41J2/14C30B29/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

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