Sputtering Target

EP3161180 Art B1 6. Februar 2019

Anmelder: PLANSEE COMPOSITE MATERIALS GMBH, Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3161180
Aktenzeichen
EP15741114
Anmeldetag
26. Juni 2015
Veröffentlichung
6. Februar 2019
Erteilung
6. Februar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34H01J37/34C23C14/35C23C14/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
PLANSEE COMPOSITE MATERIALS GMBH
Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Land
🇩🇪 Deutschland
🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

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