Systeme, Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung von Kohlenwasserstofgaszusammensetzungen

EP3161452 Art B1 20. Mai 2020

Anmelder: MKS Instruments, Inc., Pason Systems Corp. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3161452
Aktenzeichen: EP15734046
Anmeldetag: 29. Juni 2015
Veröffentlichung: 20. Mai 2020
Erteilung: 20. Mai 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/3504

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MKS Instruments, Inc.
Pason Systems Corp.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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