Selbstausgerichteter Dual-Damascene-Prozess mit Luftspaltunterstütztem Ätzen
EP3161863
Art A1
3. Mai 2017
Anmelder: Microchip Technology Incorporated 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3161863
- Aktenzeichen
- EP15734033
- Anmeldetag
- 26. Juni 2015
- Veröffentlichung
- 3. Mai 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Microchip Technology Incorporated
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Microchip Technology
US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Chandler, Arizona, bekannt für Mikrocontroller und analoge Halbleiterbauelemente.
1.426 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Grubert, Andreas
München, Deutschland
875
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31
Fachgebiete
11
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-
sgb europe
sgb europe · Hohenschäftlarn