Vorrichtung zur Plasmabehandlung mit Indirektem Atmosphärischem Druck

EP3163983 Art B1 5. August 2020

Anmelder: VITO NV 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3163983
Aktenzeichen: EP15191844
Anmeldetag: 28. Oktober 2015
Veröffentlichung: 5. August 2020
Erteilung: 5. August 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/24H05H1/44H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: VITO NV
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 VITO

Belgische Forschungsorganisation mit Sitz in Mol, die angewandte Forschung und Beratung in den Bereichen Energie, Umwelt und Materialtechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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