Mikroelektronisches Modul zur Reinigung einer Oberfläche, Modulanordnung und Verfahren zur Reinigung einer Oberfläche
Anmelder: Airbus Defence and Space GmbH, Airbus Operations GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3165468
- Aktenzeichen
- EP16002328
- Anmeldetag
- 2. November 2016
- Veröffentlichung
- 13. März 2019
- Erteilung
- 13. März 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B64F5/30// B08B6/00C03C23/00H05K3/28B08B7/02B64D15/16
Abstract
Es wird ein mikroelektronisches Modul (100) zur Reinigung einer Oberfläche angegeben. Das mikroelektronische Modul weist wenigstens einen Spannungswandler (101) zur Umwandlung einer bereitgestellten ersten Spannung (V1) in eine höhere, niedrigere oder identische zweite Spannung (V2) auf. Weiter weist das Modul wenigstens einen Aktuator (102) auf. Der Aktuator weist wenigstens einen Generator (103) zur Erzeugung eines Ionenstroms, eines elektrischen Plasmas, von Oberflächenwellen und/ oder eines elektrostatischen Feldes aus der von dem Spannungswandler bereitgestellten zweiten Spannung auf. Wenigstens der Spannungswandler und der Aktuator sind auf einem gemeinsamen dünnschichtigen flächigen Substrat (104) angeordnet. Mittels des Aktuators erfolgt die wenigstens überwiegende Entfernung wenigstens eines an der Oberfläche haftenden Objekts.
Anmelder
- Firmen
- Airbus Defence and Space GmbH
Airbus Operations GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsche Sparte des Airbus-Konzerns, die militärische Flugzeuge, Satelliten, Raumfahrttechnik sowie Verteidigungs- und Sicherheitssysteme entwickelt.
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Deutsche Tochtergesellschaft des europäischen Luft- und Raumfahrtkonzerns Airbus mit Standorten wie Hamburg. Entwickelt und fertigt Flugzeugstrukturen und Komponenten für die zivile Luftfahrt.
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