Fotomaskenrohling, Herstellungsverfahren und Fotomaske
EP3165963
Art B1
22. November 2017
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3165963
- Aktenzeichen
- EP16185287
- Anmeldetag
- 23. August 2016
- Veröffentlichung
- 22. November 2017
- Erteilung
- 22. November 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/26G03F1/38G03F1/46G03F1/50G03F1/80
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
4.655 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Stoner, Gerard Patrick
London, Großbritannien
1.364
Patente gesamt
33
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte