Qualitätsbeurteilungsverfahren für Laminat mit einer Schutzschicht auf der Oberfläche einer Oxidhalbleiter-Dünnschicht und Qualitätskontrollverfahren für Oxidhalbleiter-Dünnschicht

EP3166133 Art A1 10. Mai 2017

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3166133
Aktenzeichen: EP15814922
Anmeldetag: 22. Juni 2015
Veröffentlichung: 10. Mai 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66H01L21/28H01L29/786H01L29/66G01R1/06G01R31/26G01R31/27G01R31/265H01L27/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.)
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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