Verfahren und Struktur zur Herstellung von Integriertem Cmos- und Mems-Sensor

EP3166883 Art A1 17. Mai 2017

Anmelder: InvenSense, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3166883
Aktenzeichen
EP15818451
Anmeldetag
6. Juli 2015
Veröffentlichung
17. Mai 2017
Rechtsraum
EP
IPC
B81B7/00B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
InvenSense, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 InvenSense

InvenSense ist ein US-amerikanischer Hersteller von Bewegungssensoren und MEMS-Bauelementen, Teil des TDK-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Telekommunikation und Software, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Anmeldungen von 2004 bis 2025 betreffen unter anderem Kartierung mittels Sensordaten und Magnetfeldmessung.

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