Abscheidungsverfahren in Zwei Schritten

EP3167096 Art B1 20. Oktober 2021

Anmelder: Oxford University Innovation Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3167096
Aktenzeichen: EP15741256
Anmeldetag: 9. Juli 2015
Veröffentlichung: 20. Oktober 2021
Erteilung: 20. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/58C23C14/06C23C14/24C23C14/12C23C14/00H01L51/00C23C16/40C23C16/455// H01L51/42H01L31/0256

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

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