Extrem-Ultraviolett-Reflexionselements mit Mehrschichtigem Stapel und Verfahren zur Herstellung davon

EP3167474 Art A1 17. Mai 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3167474
Aktenzeichen: EP15819522
Anmeldetag: 3. Juli 2015
Veröffentlichung: 17. Mai 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027C23C14/06C23C14/14G03F1/24G03F1/48G03F1/52G02B5/08G03F7/20G21K1/06G02B1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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