Extrem-Ultraviolett-Reflexionselement mit Amorphen Schichten und Verfahren zur Herstellung davon

EP3167476 Art B1 17. März 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3167476
Aktenzeichen: EP15819695
Anmeldetag: 3. Juli 2015
Veröffentlichung: 17. März 2021
Erteilung: 17. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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