Monomer, Polymer, Resistzusammensetzung und Musterungsverfahren

EP3168207 Art B1 6. Februar 2019

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3168207
Aktenzeichen
EP16196525
Anmeldetag
31. Oktober 2016
Veröffentlichung
6. Februar 2019
Erteilung
6. Februar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
C07C69/653C08F20/24C08F20/26C09D133/16G03F7/004G03F7/038
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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