Vorrichtung, System und Verfahren zur Behandlung eines Gegenstandes mit Plasma

EP3168858 Art B1 16. Juni 2021

Anmelder: Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V., INP Greifswald Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e. V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3168858
Aktenzeichen
EP16197904
Anmeldetag
9. November 2016
Veröffentlichung
16. Juni 2021
Erteilung
16. Juni 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32H05H1/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V.
INP Greifswald Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e. V.
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Seliger, Knut Berlin, Deutschland
26
Patente gesamt
19
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Elektronik & Schaltungstechnik Medizintechnik & Gesundheit Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik
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