Verfahren zur Beurteilung der Qualität einer Oxidhalbleiterdünnschicht und Laminierter Körper mit einem Schutzfilm auf der Oberfläche einer Oxidhalbleiterdünnschicht und Verfahren zur Verwaltung der Qualität einer Oxidhalbleiterdünnschicht

EP3171397 Art B1 18. September 2019

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3171397
Aktenzeichen: EP15822449
Anmeldetag: 6. Juli 2015
Veröffentlichung: 18. September 2019
Erteilung: 18. September 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/265H01L29/66H01L21/66H01L29/786H01L27/146

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.)
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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