Verfahren zur Detektion Geladener Partikel und Partikelstrahlvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

EP3176808 Art B1 16. Oktober 2019

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy Ltd. 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3176808
Aktenzeichen
EP15197910
Anmeldetag
3. Dezember 2015
Veröffentlichung
16. Oktober 2019
Erteilung
16. Oktober 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/244H01J37/28H01J37/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss Microscopy Ltd.
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

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