Verfahren zur Herstellung von Finfet-Technologie mit Örtlich Höherem Fin-To-Fin-Abstand

EP3182461 Art B1 3. August 2022

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3182461
Aktenzeichen: EP15200415
Anmeldetag: 16. Dezember 2015
Veröffentlichung: 3. August 2022
Erteilung: 3. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/78H01L29/66H01L21/8234H01L27/088

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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