Mehrachsiges Maschinenwerkzeug und Verfahren zur Steuerung davon

EP3183093 Art B1 5. August 2020

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3183093
Aktenzeichen: EP16815140
Anmeldetag: 21. Juni 2016
Veröffentlichung: 5. August 2020
Erteilung: 5. August 2020
Rechtsraum: EP
IPC: B23Q1/25B23Q1/44B23Q5/54B23Q15/00G05B19/19

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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