Verfahren zur Herstellung eines Versiegelten Mems-Hohlraums mit einer Klappe zum Schützen des Hohlraums Während des Verkapselungsvorgangs
Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3184486
- Aktenzeichen
- EP16206514
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2016
- Veröffentlichung
- 7. März 2018
- Erteilung
- 7. März 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Procédé de réalisation d'une cavité, comportant : - réalisation d'un trou (108) dans un capot (106) recouvrant une portion sacrificielle (104) sur un substrat (102) ; - réalisation, sur le capot, d'une première couche (110) recouvrant ou entourant, respectivement selon une première ou deuxième configuration, une première région du capot autour du trou ; - dépôt d'une deuxième couche recouvrant le capot et la première couche et, selon la première configuration, une faible force d'adhérence entre les première et deuxième couches ou, selon la deuxième configuration, entre la deuxième couche et la première région ; - gravure de la deuxième couche, formant un clapet (114) dont une première partie (116) ne ferme pas le trou hermétiquement ou de manière étanche, et dont une deuxième partie (118) est solidaire d'une deuxième région du capot ; - gravure de la portion sacrificielle ; - fermeture de la cavité.
Anmelder
- Firma
- COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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