Resistzusammensetzung, Musterbildungsverfahren, Polymer und Monomer

EP3184561 Art B1 31. Oktober 2018

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3184561
Aktenzeichen
EP16203978
Anmeldetag
14. Dezember 2016
Veröffentlichung
31. Oktober 2018
Erteilung
31. Oktober 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C08F220/28G03F7/039C07D307/93C07D307/94C07D493/18C07D307/77C07D493/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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