Lösung zum Ätzen von Kupfer und Kupferlegierungsoberflächen
Anmelder: MKS IP Association, Atotech Deutschland GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3184669
- Aktenzeichen
- EP15202285
- Anmeldetag
- 23. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 18. Juli 2018
- Erteilung
- 18. Juli 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23F1/02C23F1/18H05K3/38H01L21/3213// H05K3/06
Abstract
An etching solution for copper and copper alloy surfaces comprising at least one acid, at least one oxidising agent suitable to oxidise copper, at least one source of halide ions and further at least one polyamide containing at least one polymeric moiety according to formula (I) wherein each a is independently from each other selected from 1, 2 and 3; each b is an integer independently from each other ranging from 5 to 10000; each R 1 is a monovalent residue independently from each other selected from the group consisting of substituted or unsubstituted C1-C8-alkyl groups and a method for its use are provided. Such etching solution is particularly useful for retaining the shape of treated copper and copper alloy lines.
Anmelder
- Firmen
- MKS IP Association
Atotech Deutschland GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.
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Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.
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