Automatische Lokalisierte Substratanalysevorrichtung und Analyseverfahren

EP3184985 Art B1 12. April 2023

Anmelder: Ias Inc., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3184985
Aktenzeichen
EP15833717
Anmeldetag
21. Juli 2015
Veröffentlichung
12. April 2023
Erteilung
12. April 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01N1/00G01N1/28G01N27/62G01N35/10G01N1/32B01L3/02H01J49/04H01J49/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Ias Inc.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

1.022 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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