System und Verfahren zur Überwachung von Wafer-Handhabung und Wafer-Handhabungsmaschine

EP3185282 Art B1 29. August 2018

Anmelder: GLOBALFOUNDRIES INC. 🇰🇾

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3185282
Aktenzeichen: EP17155850
Anmeldetag: 29. April 2014
Veröffentlichung: 29. August 2018
Erteilung: 29. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/68B25J19/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GLOBALFOUNDRIES INC.
Land: 🇰🇾 KY

🇰🇾 GlobalFoundries

GlobalFoundries ist ein Halbleiterhersteller, der als Auftragsfertiger (Foundry) Chips für zahlreiche Kunden produziert; die Gesellschaft ist auf den Cayman Islands registriert. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Software. Die Anmeldungen von 2000 bis 2018 betreffen unter anderem Kontaktstrukturen und Fertigungsverfahren für Halbleiterbauelemente.

231 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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