Peelingverfahren zur Beseitigung von Abgelagerten Materialien von Maskenträgern und Ablagerungswerkzeugkomponenten

EP3186823 Art A1 5. Juli 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3186823
Aktenzeichen: EP15835701
Anmeldetag: 28. August 2015
Veröffentlichung: 5. Juli 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/301H01L21/78C23C16/44C23C14/56B08B3/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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