Verdampfungsquelle für Organisches Material, Abscheidungsvorrichtung zum Ablagern von Organischem Materialien in einer Vakuumkammer mit einer Verdampfungsquelle für Organisches Material und Verfahren zum Verdampfen von Organischem Material

EP3187618 Art A1 5. Juli 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3187618
Aktenzeichen: EP17150278
Anmeldetag: 10. Dezember 2013
Veröffentlichung: 5. Juli 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/04C23C14/12C23C14/56C23C14/24B05D3/04B05D1/02B05D1/00H01L51/00H01L51/56C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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