Oberflächenformmessvorrichtung

EP3187822 Art B1 11. Dezember 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3187822
Aktenzeichen: EP15837058
Anmeldetag: 27. August 2015
Veröffentlichung: 11. Dezember 2019
Erteilung: 11. Dezember 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/24G01B11/00G01B11/26G01M11/02G01B11/02G01B11/245G01M11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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