Schwingungsisolationssystem zur Unterstützung einer Struktur, Lithographische Vorrichtung und Einrichtungsherstellungsverfahren
EP3189247
Art A1
12. Juli 2017
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3189247
- Aktenzeichen
- EP15744599
- Anmeldetag
- 4. August 2015
- Veröffentlichung
- 12. Juli 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16F15/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Verhoeven, Johannes Theodorus Maria
Veldhoven, Niederlande
7
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Verhoeven, Johannus Theodorus Maria
NoneVeldhoven