Schwingungsisolationssystem zur Unterstützung einer Struktur, Lithographische Vorrichtung und Einrichtungsherstellungsverfahren

EP3189247 Art A1 12. Juli 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3189247
Aktenzeichen
EP15744599
Anmeldetag
4. August 2015
Veröffentlichung
12. Juli 2017
Rechtsraum
EP
IPC
F16F15/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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