Sensor, Objektpositionierungssystem, Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
EP3189377
Art B1
16. Mai 2018
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3189377
- Aktenzeichen
- EP15736849
- Anmeldetag
- 20. Juli 2015
- Veröffentlichung
- 16. Mai 2018
- Erteilung
- 16. Mai 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01L5/16G01P15/09G01P15/18H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Ketting, Alfred
Eindhoven, Niederlande
40
Patente gesamt
8
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte