Waferausrichtvorrichtung sowie Verfahren zum Ausrichten eines Wafers auf eine Vorbestimmte Drehwinkellage

EP3189543 Art B1 7. Februar 2024

Anmelder: MUETEC Automatisierte Mikroskopie und Messtechnik GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3189543
Aktenzeichen
EP15784274
Anmeldetag
4. September 2015
Veröffentlichung
7. Februar 2024
Erteilung
7. Februar 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/68G01B11/27G01B11/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MUETEC Automatisierte Mikroskopie und Messtechnik GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Vertreten von
Paustian, Othmar München, Deutschland
176
Patente gesamt
31
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Verfahrens- & Trenntechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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