Hybrid-Vorrichtung zur Multispektralen Erkennung anhand von Monolithischen Elementen

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3190621

Aktenzeichen

EP17150548

Anmeldetag

6. Januar 2017

Veröffentlichung

13. Juli 2022

Erteilung

13. Juli 2022

Rechtsraum

EP

IPC

H01L27/146H01L21/762

Abstract

La présente invention concerne un dispositif hybride de détection (10) multispectrale comprenant un premier détecteur (21) implanté dans un substrat silicium (31), comprenant une pluralité de premiers capteurs (101) juxtaposés, et sensible au rayonnement visible et proche infrarouge, un deuxième détecteur (22) implanté dans un matériau absorbant (32) composé d'un matériau III-V comprenant une pluralité de deuxièmes capteurs juxtaposés et sensible au rayonnement infrarouge, un premier et un deuxième filtre interférentiel (25) recouvrant respectivement le premier et le deuxième détecteur, chaque filtre ayant une fenêtre de transmission spectrale différente et un gabarit contraint, un circuit de lecture (310) commun aux deux détecteurs, implanté dans le substrat silicium, et configuré pour intégrer simultanément et de façon synchrone les signaux issus des différents capteurs. Le deuxième détecteur est collé sur le substrat silicium, chaque capteur du deuxième détecteur comprenant au moins une connexion configurée pour faire transiter les signaux du capteur au circuit de lecture.

Anmelder

Firmen

THALES
COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Thales

Land

🇫🇷 Frankreich

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