Laserätzsystem mit Maskenretikel für Mehrtiefenätzen
Anmelder: Suss Microtec Photonic Systems, Inc., International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3191250
- Aktenzeichen
- EP15839695
- Anmeldetag
- 30. Juli 2015
- Veröffentlichung
- 19. Juli 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B23K26/066B23K26/362
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Suss Microtec Photonic Systems, Inc.
International Business Machines Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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Fachgebiete
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