Ionenimplantationssystem und Verfahren zur Hochempfindlichen Bestimmung von Zielisotopen

EP3192094 Art A1 19. Juli 2017

Anmelder: Battelle Memorial Institute 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3192094
Aktenzeichen: EP15738501
Anmeldetag: 28. Mai 2015
Veröffentlichung: 19. Juli 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/04H01J37/05G01N1/40H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Battelle Memorial Institute
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Battelle Memorial Institute

Gemeinnützige US-amerikanische Forschungsorganisation mit Sitz in Columbus, Ohio, die angewandte Forschung und Entwicklung in Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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