Gasdetektion mit Breitem Spektrum mittels Infrarotgasdetektor

EP3193166 Art B1 18. Dezember 2019

Anmelder: INFICON HOLDING AG, Inficon GmbH 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3193166
Aktenzeichen
EP16151030
Anmeldetag
13. Januar 2016
Veröffentlichung
18. Dezember 2019
Erteilung
18. Dezember 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G01N33/00G01N21/3504
Offizieller Volltext

Abstract

Method for wide range gas detection using a gas detection system comprising a sample gas inlet (12), a reference gas inlet (14), a gas modulation valve (16) and a gas analyzer (24), wherein the gas modulation valve (16) alternatingly connects the sample gas inlet (12) to the gas analyzer (24) during a sample gas time period and the reference gas inlet (14) to the gas analyzer (24) during a reference gas time period, characterized in that the sample gas time period is shorter than the reference gas time period such that the sample gas concentration in the gas analyzer (24) is reduced.

Anmelder

Firmen
INFICON HOLDING AG
Inficon GmbH
Land
🇨🇭 Schweiz
🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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