System zur Erzeugung von Radikalischem Gas
EP3193566
Art B1
5. Dezember 2018
Anmelder: Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3193566
- Aktenzeichen
- EP14898292
- Anmeldetag
- 29. Oktober 2014
- Veröffentlichung
- 5. Dezember 2018
- Erteilung
- 5. Dezember 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H1/24H01J37/32H01L21/31C23C16/50
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation
Japanisches Gemeinschaftsunternehmen von Toshiba und Mitsubishi Electric für industrielle Antriebssysteme, Motoren und Automatisierungstechnik.
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Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München