Pellikel, Pellikelherstellungsverfahren und Belichtungsverfahren unter Verwendung des Pellikels

EP3196700 Art B1 30. Januar 2019

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3196700
Aktenzeichen: EP15841822
Anmeldetag: 18. September 2015
Veröffentlichung: 30. Januar 2019
Erteilung: 30. Januar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/64H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsui Chemicals, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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