Lichtempfindliche Harzzusammensetzung, Gehärteter Film, Element mit dem Gehärteten Film und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP3203320 Art B9 6. Mai 2020

Anmelder: Toray Industries, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3203320
Aktenzeichen: EP15847359
Anmeldetag: 18. September 2015
Veröffentlichung: 6. Mai 2020
Erteilung: 6. Mai 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/075C08K3/36C08K5/28C08L83/06G03F7/004G03F7/023G03F7/09G03F7/40H01L21/027H01L21/3065G03F7/032

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toray Industries, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toray Industries

Japanischer Chemie- und Materialkonzern mit Sitz in Tokio. Toray entwickelt Kohlefasern, synthetische Fasern, Kunststoffe, Chemikalien sowie Materialien für Textil-, Automobil-, Elektronik- und Luftfahrtindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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