Energieunterscheidungselektronendetektor und Rasterelektronenmikroskop damit

EP3203494 Art B1 18. Dezember 2019

Anmelder: National Institute for Materials Science 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3203494
Aktenzeichen
EP15843731
Anmeldetag
17. September 2015
Veröffentlichung
18. Dezember 2019
Erteilung
18. Dezember 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/28H01J37/244
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
National Institute for Materials Science
Land
🇯🇵 Japan

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