Verfahren zur Strukturierung einer Zielmaterialschicht

EP3203499 Art B1 17. Oktober 2018

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3203499
Aktenzeichen: EP17152685
Anmeldetag: 23. Januar 2017
Veröffentlichung: 17. Oktober 2018
Erteilung: 17. Oktober 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/033

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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