Monomer, Polymer, Resistzusammensetzung und Musterungsverfahren
EP3205640
Art B1
22. Mai 2019
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3205640
- Aktenzeichen
- EP17154786
- Anmeldetag
- 6. Februar 2017
- Veröffentlichung
- 22. Mai 2019
- Erteilung
- 22. Mai 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07C69/675G03F7/004
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Fachgebiete
Vertreten von
Merkle, Gebhard
München, Deutschland
721
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32
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9
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Ter Meer Steinmeister & Partner
Ter Meer Steinmeister & Partner · München