Verfahren zur Herstellung einer Dünnen Porösen Sioch Schicht

EP3205743 Art B1 2. Juni 2021

Anmelder: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3205743
Aktenzeichen: EP17155206
Anmeldetag: 8. Februar 2017
Veröffentlichung: 2. Juni 2021
Erteilung: 2. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/56C23C16/30G01N29/02C23C16/40H01L21/02G01N30/02B01J20/10B01J20/283B01J20/32G01N29/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

8.392 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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