Gasreiniger

EP3207976 Art B1 30. Juni 2021

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3207976
Aktenzeichen
EP17159140
Anmeldetag
8. Februar 2013
Veröffentlichung
30. Juni 2021
Erteilung
30. Juni 2021
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/26C01B21/04C01B3/56C01B3/58B01D53/28B01D53/75B01D53/86B01J29/14C01B23/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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