Verfahren zum Bilden eines Films auf einem Flexiblen Substrat mit einem Gasphasenabscheidungsverfahren

EP3208363 Art A1 23. August 2017

Anmelder: Toppan Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3208363
Aktenzeichen: EP15850658
Anmeldetag: 13. Oktober 2015
Veröffentlichung: 23. August 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/56C23C16/455C23C16/54H01L21/316C23C14/02C23C14/22H01J37/32H01J37/34C23C14/00C23C14/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toppan Printing Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toppan Printing

Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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