Kupferlegierung-Sputtertarget und Verfahren zur Herstellung davon

EP3211117 Art A1 30. August 2017

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3211117
Aktenzeichen
EP16796463
Anmeldetag
16. Mai 2016
Veröffentlichung
30. August 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C22C9/00C22F1/08H01L21/285C22C9/01C22C9/05C22F1/00B22D7/00C23C14/16C22C1/02H01J37/34H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JX Nippon Mining & Metals Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JX Nippon Mining & Metals

JX Nippon Mining & Metals Corporation ist ein japanisches Unternehmen der Nichteisenmetallindustrie, das Kupfer, Halbleitermaterialien und Metallverarbeitung herstellt, Teil der ENEOS-Gruppe.

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