Verfahren zur Entfernung von Kohlenstoff aus einem Organosilikatmaterial

EP3211121 Art A3 15. November 2017

Anmelder: Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3211121
Aktenzeichen
EP17165228
Anmeldetag
8. Dezember 2009
Veröffentlichung
15. November 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/56H01L21/316C23C16/40C23C16/30H01L21/02H01L21/3105B32B5/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Air Products and Chemicals, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Sommer, Andrea ANDREA | SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB München, Deutschland
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Fachgebiete
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Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik Organische Chemie Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Kanzlei
ANDREA | SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB München, Deutschland

ANDREA | SOMMER Patentanwälte Partnerschaft mbB mit Sitz in München, in direkter Nähe zum Europäischen Patentamt. Vertritt vor EPA, EUIPO und WIPO mit Schwerpunkten in Chemie und Pharmazie, berät von Einzelerfindern und Start-ups bis zu internationalen Konzernen.

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