Mems-Vorrichtung mit einer Freigesetzten Vorrichtungsschicht als Membran
EP3211393
Art A1
30. August 2017
Anmelder: ETH Zürich 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3211393
- Aktenzeichen
- EP16157829
- Anmeldetag
- 29. Februar 2016
- Veröffentlichung
- 30. August 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ETH Zürich
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
ETH Zürich
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.
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